レーザー洗浄の利点と分類

機械的摩擦洗浄、化学的腐食洗浄、液体固体強力衝撃洗浄、高周波超音波洗浄などの従来の洗浄方法と比較して、レーザー洗浄には明らかに5つの利点があります。

環境保護の利点：レーザー洗浄 is a "green" cleaning method, without the use of any chemicals or cleaning fluids. The cleaned waste is basically solid powder, small in size, easy to store, recyclable, no photochemical reaction, no Will cause pollution.

効果の利点：従来の洗浄方法は接触洗浄であることが多く、洗浄対象の表面に機械的な力があり、損傷した対象の表面または洗浄媒体が洗浄対象の表面に付着しており、取り除くことができません、二次汚染を引き起こします。 粉砕および非接触、熱の影響は基板を損傷せず、これらの問題は解決されます。

制御の利点：レーザーは光ファイバーを介して伝送され、ロボットの手やロボットと連携し、長距離操作を便利に実現し、従来の方法では到達が困難な部分を洗浄できます。 これにより、危険な場所にいる人員の安全を確保できます。

便利な利点：レーザークリーニングは、さまざまな材料の表面にあるさまざまな種類の汚染物質を除去し、従来のクリーニングでは達成できない清浄度に到達できます。 また、材料の表面に損傷を与えることなく、材料の表面の汚染物質を選択的に洗浄できます。

コスト面での利点：レーザークリーニングの速度は速く、効率が高く、時間を節約できます。 現段階ではレーザー洗浄システムの初期投資は高いですが、洗浄システムは長期間安定して使用でき、運用コストは低く、さらに重要なことに、自動化が容易です。 レーザー洗浄システムのコストは将来大幅に削減され、それによりレーザー洗浄技術を使用するコストをさらに削減することが予測されます。

レーザークリーニングの方法は、次の3つのカテゴリに分類できます。

1.レーザードライクリーニング

レーザー放射を使用して直接除染を行うと、レーザーが物体や汚れの粒子に吸収された後、振動が発生し、基材と汚染物質が分離されます。 レーザードライクリーニングでは、汚れの粒子を除去する主な方法が2つあります。1つは基板表面の瞬間的な熱膨張であり、振動を発生させて表面に吸着した粒子を除去します。 もう1つは、粒子自体の熱膨張で、粒子が基板の表面から離れる原因になります。

2.レーザーウェットクリーニング

レーザー湿式洗浄は、洗浄する基板の表面を液体誘電体膜の層で均一に覆い、次にレーザー光線を使用して汚れを除去します。 誘電体膜と基板によるレーザー光の吸収に応じて、ウェットクリーニングは、強い基板吸収、強い誘電体膜吸収、誘電体膜基板吸収に分類できます。 強い基板が吸収すると、基板がレーザーエネルギーを吸収した後、熱が液体誘電体膜に伝達され、基板と液体の界面の液体層が過熱され、液体層と汚れが一緒に除去されます。

3.レーザー+不活性ガス洗浄

レーザー照射と同時に、ワーク表面に不活性ガスを吹き付けます。 汚染物質が表面から剥離されると、汚染物質がガスによって表面から吹き飛ばされ、汚染されていない清浄な表面の酸化が回避されます。